Схема вторинного зворотного повітря для системи кондиціонування повітря

Мікроелектронна майстерня з відносно невеликою площею чистого приміщення та обмеженим радіусом зворотного повітропроводу використовувалася для прийняття вторинної схеми зворотного повітря системи кондиціонування повітря. Ця схема також широко використовується вчисті кімнатив інших галузях, таких як фармацевтика та медичне обслуговування. Оскільки об’єм вентиляції, який відповідає вимогам щодо вологості температури чистого приміщення, зазвичай набагато менший, ніж об’єм вентиляції, необхідний для досягнення рівня чистоти, тому різниця температур між припливним повітрям і повітрям, що повертається, невелика. Якщо використовується схема основного зворотного повітря, різниця температур між точкою стану припливного повітря та точкою роси блоку кондиціонування повітря велика, потрібне вторинне опалення, що призводить до компенсації холодного тепла в процесі обробки повітря та більшого споживання енергії . Якщо використовується схема вторинного зворотного повітря, вторинне зворотне повітря може використовуватися для заміни вторинного опалення первинної схеми зворотного повітря. Незважаючи на те, що регулювання співвідношення первинного та вторинного зворотного повітря дещо менш чутливе, ніж регулювання вторинного тепла, схема вторинного зворотного повітря була широко визнана як захід енергозбереження кондиціонування повітря в малих і середніх мікроелектронних чистих майстернях .

Візьмемо для прикладу чисту майстерню мікроелектроніки ISO класу 6, площа чистої майстерні 1000 м2, висота стелі 3 м. Параметри внутрішнього дизайну: температура tn= (23±1) ℃, відносна вологість φn=50%±5%; Розрахунковий об’єм припливного повітря становить 171 000 м3/год, час повітрообміну — близько 57 год-1, а об’єм свіжого повітря — 25 500 м3/год (з них технологічний об’єм відпрацьованого повітря — 21 000 м3/год, решта — об’єм повітря витоку надлишкового тиску). Відчутне теплове навантаження в чистому цеху становить 258 кВт (258 Вт/м2), співвідношення тепло/вологість кондиціонера становить ε=35 000 кДж/кг, а різниця температур зворотного повітря в приміщенні становить 4,5 ℃. У цей час первинний зворотний об'єм повітря
На даний момент це найбільш часто використовувана форма системи кондиціонування повітря для очищення в чистих приміщеннях мікроелектронної промисловості, цей тип системи можна в основному розділити на три типи: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (суха котушка) +FFU. Кожен має свої переваги та недоліки та відповідні місця, ефект енергозбереження в основному залежить від продуктивності фільтра, вентилятора та іншого обладнання.

1) Система AHU+FFU.

Цей тип системного режиму використовується в мікроелектронній промисловості як «спосіб поділу кондиціонування повітря та фази очищення». Можуть виникнути дві ситуації: перша полягає в тому, що система кондиціонування повітря працює лише зі свіжим повітрям, а оброблене свіже повітря несе на себе все навантаження тепла та вологості чистого приміщення та діє як додаткове повітря, щоб збалансувати відпрацьоване повітря та витік позитивного тиску. чистих приміщень цю систему ще називають системою MAU+FFU; Інша полягає в тому, що одного об’єму свіжого повітря недостатньо для задоволення потреб у холодному та тепловому навантаженні чистого приміщення, або через те, що свіже повітря обробляється від зовнішнього стану до точки роси, питомої ентальпії необхідної машини є занадто великою. , а частина внутрішнього повітря (еквівалентна зворотному повітрю) повертається до блоку обробки кондиціонування повітря, змішується зі свіжим повітрям для обробки тепла та вологості, а потім надсилається до камери подачі повітря. Змішаний із залишком зворотного повітря чистого приміщення (еквівалент вторинного зворотного повітря), він надходить у блок FFU, а потім надсилає його в чисте приміщення. З 1992 по 1994 рік другий автор цієї статті співпрацював із сінгапурською компанією та привів понад 10 аспірантів до участі в проектуванні спільного підприємства США та Гонконгу SAE Electronics Factory, яке прийняло останній тип очищення повітря і кондиціонування повітря. система вентиляції. У проекті є чиста кімната класу 5 ISO площею приблизно 6000 м2 (1500 м2 з яких уклало Японське атмосферне агентство). Кімната для кондиціонування повітря розташована паралельно стороні чистої кімнати вздовж зовнішньої стіни і лише примикає до коридору. Труби свіжого повітря, витяжного повітря та зворотного повітря короткі та розташовані гладко.

2) Схема MAU+AHU+FFU.

Це рішення зазвичай зустрічається на підприємствах мікроелектроніки з кількома вимогами до температури та вологості та великими відмінностями у навантаженні тепла та вологості, а також високий рівень чистоти. Влітку свіже повітря охолоджується та осушується до фіксованого параметра. Зазвичай доцільно обробляти свіже повітря до точки перетину ізометричної лінії ентальпії та лінії відносної вологості 95% чистого приміщення з репрезентативною температурою та вологістю або чистого приміщення з найбільшим об’ємом свіжого повітря. Об’єм повітря MAU визначається відповідно до потреб кожного чистого приміщення для поповнення повітря та розподіляється в AHU кожного чистого приміщення за допомогою труб відповідно до необхідного об’єму свіжого повітря та змішується з деякою кількістю зворотного повітря в приміщенні для обігріву. і обробка вологістю. Ця установка витримує все навантаження від тепла та вологості та частину нового навантаження від ревматизму чистої кімнати, яку вона обслуговує. Повітря, оброблене кожним AHU, направляється в камеру припливного повітря в кожній чистій кімнаті, а після вторинного змішування з внутрішнім зворотним повітрям воно направляється в кімнату блоком FFU.

Основна перевага рішення MAU+AHU+FFU полягає в тому, що крім забезпечення чистоти та надлишкового тиску, воно також забезпечує різні температури та відносну вологість, необхідні для виробництва кожного процесу чистого приміщення. Однак часто через кількість установок AHU займають велику площу приміщення, свіже повітря в чистій кімнаті, зворотне повітря, трубопроводи подачі повітря перехрещуються, займають великий простір, макет є більш складним, технічне обслуговування та управління важче і складний, тому немає особливих вимог, наскільки це можливо, щоб уникнути використання.