Стандартизація чистих приміщень

У Сполучених Штатах до кінця листопада 2001 року для визначення вимог до чистих приміщень використовувався федеральний стандарт 209E (FED-STD-209E). 29 листопада 2001 року ці стандарти були замінені публікацією специфікації ISO 14644-1. Як правило, чисте приміщення, що використовується для виробництва або наукових досліджень, являє собою контрольоване середовище з низьким рівнем забруднюючих речовин, таких як пил, мікроби, що переносяться повітрям, аерозольні частинки та хімічні пари. Якщо бути точним, чисте приміщення має контрольований рівень забруднення, який визначається кількістю частинок на кубічний метр при заданому розмірі частинок. У типовому міському середовищі зовнішнє повітря містить 35 мільйонів частинок на кубічний метр діаметром 0,5 мікрона або більше, що відповідає чистому приміщенню ISO 9 на найнижчому рівні стандарту чистих приміщень. Чисті приміщення класифікуються за чистотою повітря. У Федеральному стандарті США 209 (від A до D) кількість частинок розміром 0,5 мм або більше вимірюється в 1 кубічному футі повітря, і цей показник використовується для класифікації чистих приміщень. Ця метрична номенклатура також прийнята в останній версії стандарту 209E. Китай використовує федеральний стандарт 209E. Новіший стандарт - TC 209 Міжнародної організації зі стандартизації. Обидва стандарти класифікують чисті приміщення на основі кількості частинок у лабораторному повітрі. Стандарти класифікації чистих приміщень FS 209E та ISO 14644-1 вимагають конкретних вимірювань та розрахунків кількості частинок для класифікації рівня чистоти чистого приміщення або чистої зони. У Сполученому Королівстві для класифікації чистих приміщень використовується британський стандарт 5295. Цей стандарт незабаром буде замінено на BS EN ISO 14644-1. Чисті приміщення класифікуються за кількістю та розміром частинок, дозволених на об'єм повітря. Великі числа, такі як "Клас 100" або "Клас 1000", відносяться до FED_STD209E, що представляє кількість частинок розміром 0,5 мм або більше, дозволених на кубічний фут повітря.