РІШЕННЯ BSLtech Semiconductor
Розвиток вашого досвіду в напівпровідниковій промисловості часто вимагає чистих приміщень або камер з ламінарним потоком із високим класом ISO (ISO 5 або вище). Ви маєте справу з процесами, чутливими до УФ-випромінювання? Навіть тоді BSL постачає правильні чисті приміщення. Чисті кімнати мають високоякісне оздоблення стін і освітлення з УФ-фільтром. Завдяки використанню антистатичних (ESD) матеріалів і антистатичних пластин на системі фільтрів нейтралізується статичний заряд у повітрі.
Якщо дегазація небажана, BSL пропонує чисте приміщення з матеріалів, що не виділяють газів (PU). Ця технологія бере свій початок в аерокосмічній промисловості.
Типові процеси в напівпровідниковій промисловості:
● Захист підкладок і кремнієвих пластин
● Дослідження EUV
● Вирівнювачі масок
● Вакуумне покриття, нанесення тонкої плівки
● Друк програм
● Оптика
Front-end і back-end процеси