
РІШЕННЯ BSLtech Semiconductor
Розвиток вашого досвіду в напівпровідниковій промисловості часто вимагає чистих приміщень або ламінарних шаф з високим класом ISO (ISO 5 або вище). Ви маєте справу з процесами, чутливими до ультрафіолетового випромінювання? Навіть тоді BSL постачає правильне чисте приміщення. Чисті приміщення мають високоякісне оздоблення стін та оснащені освітленням з ультрафіолетовим фільтром. Завдяки використанню антистатичних (ESD) матеріалів та антистатичних планок на фільтруючій системі статичний заряд у повітрі нейтралізується.
Коли дегазація не потрібна, BSL пропонує чисту кімнату з негазуючих матеріалів (PU). Ця технологія виникла в аерокосмічній промисловості.
Типові процеси в напівпровідниковій промисловості:
● Захист підкладок та кремнієвих пластин
● Дослідження EUV
● Вирівнювачі масок
● Вакуумне покриття, нанесення тонких плівок
● Програми для друку
● Оптика
Процеси фронтенду та бекенду